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| Plasma表面處理裝置（電漿機(jī)）主要技術(shù)參數(shù) | |||
| 整機(jī)外形尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn)：900mm寬×1000mm深×1800mm高 (依據(jù)客戶要求定制化） | ||
| 腔體內(nèi)尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn)：450mm寬*450mm深*400mm高 (依據(jù)客戶要求定制化） | ||
| 載物層數(shù) | 6層 | ||
| plasma發(fā)生系統(tǒng) | 等離子體發(fā)生源 | ||
| 控制系統(tǒng) | 觸摸屏+PLC全自動(dòng)控制 | ||
| 進(jìn)氣系統(tǒng) | 2路進(jìn)氣、1路放空 | ||
| Plasma表面處理裝置（電漿機(jī)）的主要配置元件 | |||
| 系統(tǒng)組成 | 組件明細(xì) | ||
| 真空系統(tǒng) | 真空腔 | 特種專用鋁合金材料 | |
| 真空計(jì) | ULVAC高精密真空計(jì)，高低壓力報(bào)警 | ||
| 真空泵 | 油泵/幹泵（可選） | ||
| 真空管路組件 | 全不銹鋼管路+波紋管 | ||
| plasma發(fā)生系統(tǒng) | plasma發(fā)生器 | 射頻電源 | |
| 真空電極組件 | 內(nèi)置平板式電極結(jié)構(gòu) | ||
| 電控系統(tǒng) | 人機(jī)工控系統(tǒng) | MCGS觸摸屏,7英寸真彩色觸摸式全中文界面 | |
| 自動(dòng)控制模塊 | 西門子PLC控制模塊（D/A、A/D轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)安全可輸入輸出） | ||
| 電控集成 | 采用國內(nèi)外知名品牌元器件 | ||
| 進(jìn)氣系統(tǒng) | 氣體計(jì)量系統(tǒng) | 高精度質(zhì)量流量控制器 | |
| 氣壓控制系統(tǒng) | 全套電磁閥控制 | ||
| 氣壓監(jiān)測系統(tǒng) | SMC減壓閥、壓力報(bào)警儀表 | ||
| 進(jìn)氣管路組件 | Φ6 軟管+不銹鋼鎖套管路 | ||
| 載物系統(tǒng) | 托盤 | 可根據(jù)客戶工藝需求，設(shè)計(jì)定制。 | |
| 其他 | 機(jī)箱 | 高質(zhì)量噴漆 | |
| 組配件 | 國內(nèi)外知名品牌元器件 | ||
