歡迎來(lái)到揚(yáng)州國(guó)興技術(shù)有限公司 [ 官方網(wǎng)站 ]
您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > 等離子 > 真空等離子
產(chǎn)品分類product list
箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1502

箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1502

銷售咨詢熱線:189 0525 0399

產(chǎn)品展示

項(xiàng)目

規(guī)格

主機(jī)尺寸

1955W x 1580D x 1750H mm

真空腔體尺寸

1020W x 1330D x 913H mm

電極板配置

16 片垂直電極板,15 個(gè)處理位置

有效區(qū)域

1100W x 615H mm

等離子體電源

10kw-20kw

電極溫度

35~95℃,模溫恒定控制,待機(jī)狀態(tài)也能保持溫度不變,省去預(yù)熱時(shí)間

工藝氣體控制

標(biāo)配:
O2、N2:0~5000sccm;
CF4:0~400sccm;
Ar:0~2000sccm;
可選:
額外一路工藝氣體,流量范圍可定制

真空檢測(cè)

0.01Torr~760Torr

工作氣壓

0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr

人機(jī)界面觸摸屏

中文界面,模擬圖文顯示;操作員、工程師權(quán)限分級(jí);

真空泵組

選配

型號(hào)指示燈

三色指示燈,帶報(bào)警蜂鳴器

系統(tǒng)重量

~3.5 噸,包含主機(jī)、泵組、模溫機(jī)

空間需求

4000 x 4000 x 2200(H)mm

電源需求

AC380V 三相五線,50Hz/100A,30kW

壓縮空氣需求

潔凈、干燥,0.5~0.8MPa

工藝氣體需求

0.3~0.5MPa,純度>99.9%

廠務(wù)冰水需求

20℃,20L/min (模溫機(jī)采用水冷式需求冰水,風(fēng)冷式無(wú)該項(xiàng))

抽風(fēng)系統(tǒng)

>100 立方/min (模溫機(jī)采用風(fēng)冷式需求熱排風(fēng),水冷式無(wú)該項(xiàng))

廢氣管道

>3 立方/min,中央廢氣系統(tǒng),DN50

環(huán)境溫濕度

20~30℃,30%~70%RH


上一條 已經(jīng)是第一篇
下一條 真空卷對(duì)卷垂直式

本文標(biāo)簽:

揚(yáng)州國(guó)興技術(shù)有限公司
電話:189 0525 0399
地址:揚(yáng)州市江都區(qū)大橋鎮(zhèn)309縣道陳巷組63號(hào)6號(hào)廠房(揚(yáng)州工廠)
昆山市陸家鎮(zhèn)豐夏路12號(hào)(昆山辦事處)
掃一掃咨詢
Copyright ? 2021 揚(yáng)州國(guó)興技術(shù)有限公司 All Rights Reserved  備案號(hào):蘇ICP備20012307號(hào)-2  技術(shù)支持: 蘇州千千結(jié)昆山網(wǎng)站建設(shè)